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6寸半导体晶圆检查显微镜OMT-6RT
  • 点击数:2346
  • 产品类别: 产品中心 金相显微镜 半导体检查金相显微镜
  • 产品描述:
  • 简单介绍
    苏州6寸半导体晶圆检查显微镜OMT-6RT 昆山6寸半导体晶圆检查显微镜OMT-6RT

    6寸半导体晶圆检查显微镜OMT-6RT 的详细介绍
    OMT-6RT各项操作根据人机工程学设计,大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。
    宽视场铰链式三目观察筒
    正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。 大行程移动平台设计
    采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。 高精度物镜转换器
    转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。 安全、稳重的机架结构设计
    工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
    其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。



    光学系统:无限远色差校正光学系统

    目镜:高眼点平场目镜,PL10X,线视场φ22mm,配十字刻划标尺。

    观察筒:正像,铰链式三目,30°倾斜,分光比:三目100%

    照明系统:带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤**插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆。反射照明12V100W,光强连续可调。

    调焦机构:粗微调同轴,带粗调上限位、松紧调节装置和随机限位装置

    粗调行程:33mm(焦后1mm),微调精度:0.001mm

    物镜转换器:内定位、内倾式、五孔明暗场物镜转换器带DIC插槽

    LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜5X、数值孔径0.15、工作距离11.8mm

    LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜10X、数值孔径0.30、工作距离11.0mm

    LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜20X、数值孔径0.45、工作距离4.0mm

    LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜50X、数值孔径0.55、工作距离7.8mm

    LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜100X、数值孔径0.80、工作距离2.1mm

    三层机械移动平台,反射行程158x 158mm,透射行程:100x100mm,玻璃工作台,右手位X、Y移动手轮,带离合器手柄,可快速移动 

    高清工业相机OMT-918M(带测量)

    1.采用FPGA+ARM架构的嵌入式系统。运行LINUX3.10操作系统。

    2.双核Cortex-A9处理器,主频速度为1Ghz和高达1GbDDR3内存。

    3.采用1/2英寸背光式CMOS Sensor。

    4.高达200万高速图像采集,分辨率为1920×1080@60fps

    5.两个USB接口,可连接无线鼠标或者键盘。

    6.灵活的标定方式。mm、um、miI可任意选择。

    7.自带智能取点功能大限度保证测量的一致性。

    8.测量图像和数据可保存。

    测量功能:两点间、点到线、三点圆、圆心距、同心圆、点到圆、线到圆、平行线、矩形、角度、弧度、多边形

    数据保存:带测量结果图像或excel数据保存

    测量方式:鼠标操作,智能选点/手动选点

    接口:2个usb接口。可连接U盘、无线鼠标或键盘

    三星液晶显示器22寸,1080P



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