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显微激光测振仪MLV-100
  • 点击数:2301
  • 产品类别: 产品中心 工具显微镜/量测显微镜 显微激光测振仪
  • 产品描述:
  • MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米量级,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
    随着MEMS的日益发展,显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌,是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。



    点直径*

    大约10um

     频率响应范围*

    DC to 25KHz DC to 100KHz DC to 1MHz/2.5MHz

    测量速度范围

    法向*

    50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s

    切向*

    150mm/s, 1500mm/s, 15m/s30m/s

    滤波设置

    高通、低通滤波设置

    显微镜

    目镜

    放大倍率

    W.D

    光束直径

    5X

    34mm

    30um

    10X

    34mm

    20um

    20X/50X

    20mm/13mm

    10um/2um

     X-Y平台

    尺寸

    100X100mm

    移动范围

    +/-10mm

    分辨率

    0.001mm

    *可根据客户要求,并可为客户定制


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